沈陽恒進真空科技有限公司
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真空注油機的設(shè)備用途、特點:
該設(shè)備用于MEMS硅基壓力隔離液凈化和充灌,通過在隔離膜片和硅芯片之間充灌硅油介質(zhì),隔離硅芯片與外界環(huán)境,保護硅芯片免受外界環(huán)境的不良影響,同時使隔離膜片感受到的測量壓力無損的傳遞到硅芯片上。廣泛用于壓力傳感器充油芯體的生產(chǎn)過程。該設(shè)備具有溫度均勻可控、真空度高、抽氣速率快、操作方便簡單等特點。
控制系統(tǒng)由PLC控制動作,智能溫控儀控制溫度,控制準確,自動化程度高,可實現(xiàn)全自動/手動無擾動切換及異常報警功能,操作簡單可靠。
主要技術(shù)指標:
注:特殊規(guī)格可按用戶要求定制