沈陽(yáng)恒進(jìn)真空科技有限公司
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真空注油機(jī)的設(shè)備用途、特點(diǎn):
該設(shè)備用于MEMS硅基壓力隔離液凈化和充灌,通過(guò)在隔離膜片和硅芯片之間充灌硅油介質(zhì),隔離硅芯片與外界環(huán)境,保護(hù)硅芯片免受外界環(huán)境的不良影響,同時(shí)使隔離膜片感受到的測(cè)量壓力無(wú)損的傳遞到硅芯片上。廣泛用于壓力傳感器充油芯體的生產(chǎn)過(guò)程。該設(shè)備具有溫度均勻可控、真空度高、抽氣速率快、操作方便簡(jiǎn)單等特點(diǎn)。
控制系統(tǒng)由PLC控制動(dòng)作,智能溫控儀控制溫度,控制準(zhǔn)確,自動(dòng)化程度高,可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)/手動(dòng)無(wú)擾動(dòng)切換及異常報(bào)警功能,操作簡(jiǎn)單可靠。
主要技術(shù)指標(biāo):
注:特殊規(guī)格可按用戶要求定制