沈陽恒進真空科技有限公司
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真空注油機的設備用途、特點：
該設備用于MEMS硅基壓力隔離液凈化和充灌，通過在隔離膜片和硅芯片之間充灌硅油介質，隔離硅芯片與外界環境，保護硅芯片免受外界環境的不良影響，同時使隔離膜片感受到的測量壓力無損的傳遞到硅芯片上。廣泛用于壓力傳感器充油芯體的生產過程。該設備具有溫度均勻可控、真空度高、抽氣速率快、操作方便簡單等特點。
控制系統由PLC控制動作，智能溫控儀控制溫度，控制準確，自動化程度高，可實現全自動/手動無擾動切換及異常報警功能，操作簡單可靠。
主要技術指標：
注：特殊規格可按用戶要求定制
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