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碳化硅燒結爐是用來反應燒結碳化硅的真空燒結爐,最高溫度1800度,極限真空度5x10-1pa,保溫層為石墨板和碳氈復合結構,加熱室為密閉形式,阻止硅蒸汽溢出,加熱材料為石墨,有充氣排膠系統。
工作區有,446,4413,,5514,6620,8812,7732,8840等多種規格
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